干燥机理在工作状态下，对于不同的半导体制冷片，冷热端会产生不同的温差。本装置选用的制冷片的冷热端温差为50°C，采用的冷却水的温度为17°C左右，工作时冷端温度就可达到- 37°C左右，远远低于水的冰点，原料气中的水蒸气会因此结冰而达到干燥原料气的目的。制冷干燥装置的研制（1）制冷装置。根据计算，本装置选用36片制冷片。将这些制冷片顺序排列成制冷片组，上面为冷却装置，下面为换热装置。
　　（2）冷却装置。为了达到更好的冷却效果，装置采用水冷的方式，考虑到冷却水结垢等因素及实验室的条件，冷却水采用自来水。（3）换热除尘装置。在设计时，将换热装置及除时国富等：臭氧发生系统中半导体制冷干燥装置的研制尘装置合二为一。装置采用导热性能好的铝板，在气流的前进方向上，铝板交错排布，一方面增大了换热面积，提高了换热效率，另一方面起到去除粉尘的效果。考虑到不经过干燥处理的原料气进入电晕电放臭氧发生系统后将对系统产生危害以及本实验室的实际情况，本文设计了半导体制冷干燥装置。本装置具有操作方便、安全可靠、控制灵活、干燥速度快等优点，适用于制冷量较小的场合（例如饮用水杀菌消毒、医院污水处理、化工和制药等行业应用的臭氧发生器，其臭氧发生量小于200时的场合），对臭氧原料气进行干燥。